วันพฤหัสบดีที่ 17 ตุลาคม พ.ศ. 2567

Magnetron Sputter Coater ( เคลือบฟิล์มบางด้วยระบบแมกนีตรอนสปัตเตอริง )




















Magnetron Sputter Coater ( เคลือบฟิล์มบางด้วยระบบแมกนีตรอนสปัตเตอริง )

Magnetron Sputter Coating คือ กระบวนการที่ทำให้อะตอมของสารเคลือบ ( Coating Target ) หลุดออกมาโดยการป้อนก๊าซเฉื่อยที่อยู่ในสภาวะ พลาสมาให้ไหลเข้าไปชนกับผิวของสารเคลือบ และใช้สนามแม่เหล็กจากแมกนีตรอน ( Magnetron ) เข้ามาควบคุมความเร็วในการเคลื่อนที่ของก๊าซ จากการเพิ่มปริมาณของพลาสมาจะทำให้อัตรา

การสปัตเตอริงสูงขึ้น อะตอมของสารเคลือบจึงหลุดออกมาอย่างต่อเนื่องกลายเป็นไอของสารตั้งต้น และวิ่งเข้าไป

เคลือบลงบนผิวของวัสดุรองรับ ( Sample Target )